當前的高效過濾器方法有：粒子計數(shù)器法、光度計法。光度計法不如粒子計數(shù)法靈敏。粒子計數(shù)法，以粒子計數(shù)器作為檢測儀器，使用單分散或多分散氣溶膠，靈敏度高，多用于高效過濾器。

  粒子計數(shù)器跟光度計的區(qū)別在于，光度計采用火焰光度計，對NACL燃燒的火焰色度作響應，靈敏度低，且NACL對微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害，國外已不用。

   檢測儀器可使用氣溶膠光度計或粒子計數(shù)器。粒子計數(shù)器檢測的是粒子數(shù)量的分布，以粒/L單位表示。而光度計檢測的是粒子質(zhì)量濃度，以mg/L表示，多數(shù)量分布粒子與大濃度分布的粒子并不處于同一粒徑。粒徑與重量成三次方關系，大粒徑的粒子在濃度分布中占有較大的比重，因此在檢測效率過濾時，使用粒子計數(shù)器和光度計得到的結果有差別，與粒子計數(shù)器相比，光度計靈敏度很低，因此不用來檢測H13級以上高效過濾器，對于制藥企業(yè)高效過濾器的撿漏而言，光度計使用方便，檢測結果易以判斷，對泄露檢測比較敏感和廣泛應用。